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        產品詳情
        • 產品名稱:桌面型石英腔體小型蒸發鍍膜儀

        • 產品型號:CY-EVP180G-1S-A
        • 產品廠商:成越科儀
        • 產品文檔:
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        簡單介紹:
        本產品為桌面型小型蒸發鍍膜儀,可提供*大100A的鍍膜電流,*大蒸發溫度可達1800℃,能夠滿足各種常見金屬及部分非金屬的蒸鍍
        詳情介紹:

        本產品為桌面型小型蒸發鍍膜儀,可提供*大100A的鍍膜電流,*大蒸發溫度可達1800℃,能夠滿足各種常見金屬及部分非金屬的蒸鍍。真空腔體采用高純石英制作,具有便于觀察鍍膜過程,易于清洗的優點;配合分子泵組可達到5x10-4Pa極限真空,能夠有效保證蒸鍍薄膜的純凈度和結合力。

        小型蒸發鍍膜儀技術參數:


        產品名稱

        桌面型石英腔體蒸發鍍膜儀

        產品型號

        CY-EVP180G-1S-A

        安裝條件

        1、使用環境溫度 25℃±15℃,濕度 55%Rh±10%Rh;

        2、設備供電:AC220V,50Hz,必須有良好接地;

        3、額定功率:1200w;

        4、設備用氣:設備腔室內需充注氬氣清洗,需客戶自備氬氣,純

        度 ≥99.99%;

        5、擺放工作臺尺寸要求 600mm×600mm×700mm,承重 50kg 以上;

        6、擺放位置要求通風。

        技術參數

        1、 蒸發源電壓:10V

        2、 蒸發電流 0~100A 連續可調

        3、 配 1 個鎢舟、1 個鎢絲籃;

        4、 不銹鋼旋轉上置樣品臺,直徑為60mm;

        5、 樣品與蒸發源的距離為 60~100mm 連續可調;

        6、 真空腔體為石英腔體其直徑為180mm,高度為200mm;

        7、 真空腔體抽氣接口為 KF25;

        8、 進氣接口為 1/4 英寸雙卡套接頭,默認配不銹鋼微調閥以調節進氣量;

        9、 顯示屏為7英寸彩色觸摸屏;

        10、 可調節蒸發電流,可設置蒸發**電流值、**真空值;

        11、 **保護:過流、真空過低自動切斷蒸發電流;

        12、 極限真空:5E-4Pa(搭配分子泵);

        13、 真空測量為電阻規真空計,其量程為:1~105Pa

        注意事項

        1、對于蒸鍍對氧較敏感的材料,建議使用分子泵組。

        2、為了達到較高的無氧環境,至少要用高純惰性氣體對真空腔體清洗 3 次。

        可選配件

        膜厚監測儀

        1、膜厚分辨率:0.0136?(鋁)

        2、膜厚準確度:±0.5%,取決于過程條件,特別是傳感器的位置, 材料應力,溫度和密度

        3、測量速度:100ms-1s/次,可設置測量范圍:500000?(鋁)

        4、標準傳感器晶體:6MHz

        5、適用晶片頻率:6MHz 適用晶片尺寸:Φ14mm 安裝法蘭:CF35

        其他配件

        1、鎢舟、鎢絲籃;

        2、有機蒸發源(含石英舟和鎢絲發熱源)

        3、CY-CZK103系列高性能分子泵組(含復合真空計,測量范圍10-5Pa~105Pa);

        CY-GZK60系列小型分子泵組(含復合真空計,測量范圍10-5Pa~102Pa

        VRD-4雙極旋片真空泵;

        4、KF25真空波紋管;長度可選0.5m、1m、1.5m;KF25卡箍支架

        5、膜厚儀晶振片;


        豫公網安備 41019702002438號

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