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        產品詳情
        • 產品名稱:真空腔體

        • 產品型號:
        • 產品廠商:成越科儀
        • 產品文檔:
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        簡單介紹:
        該真空腔體非常適合物理沉積 (PVD)、化學沉積 (CVD)、等離子體化學沉積 (PECVD)、熱噴涂、電子束濺射等多種鍍膜
        詳情介紹:

        通用真空腔體設計用于在低壓至高真空 - 5·10-7 mm 下進行物理實驗。該真空腔體非常適合物理沉積 (PVD)、化學沉積 (CVD)、等離子體化學沉積 (PECVD)、熱噴涂、電子束濺射等多種鍍膜。 此外,在安裝適當的設備時,真空柱還可用于進行固體物理領域的研究。

        抽氣和真空室升降過程有手動和自動兩種控制方式。 真空柱的壓力和狀態顯示在液晶顯示屏上。

        真空室被制成帽的形式。 腔室材料為不銹鋼,箱體上焊接有矩形冷卻通道。 腔室法蘭有許多支管,用于連接各種輸入:旋轉、電氣、低溫。 真空柱配備有自動室提升機構。

        腔體的技術特性。

        真空系統

        真空室內徑

        不小于250mm

        真空室高度

        不小于400mm

        攝像頭類型

        圓筒鐘型

        腔體材質

        不銹鋼,12X18H10T

        腔體內表面加工

        研磨、拋光

        前級泵抽速

        不小于5m3/h

        前級泵類型

        干式螺旋泵

        高真空泵類型

        渦輪分子泵組

        高真空泵抽速

        不小于300l/s

        冷卻系統

        線圈,入口/出口配件:1/4'

        工作真空度

        1x10-6毫米汞柱

        極限真空

        5х10-7毫米汞柱

        達到工作真空的時間

        不超過60分鐘

        真空計類型

        組合式寬范圍型

        壓力測量范圍

        760 mm Hg

        旁路泵送管線

        高真空閥

        氣動,常閉

        連接法蘭

        KF16 – 2. KF25 – 6.

        控制類型

        手動/自動

        真空系統控制方法

        電動氣動

        真空系統壓力和狀態指示

        控制面板上的液晶顯示屏

        外形尺寸

        xx高(1000x1200x1800(2400)mm

        重量

        不超250KG

        電源電壓

        220V

        電源相數

        1

        進氣壓力

        4-8 Bar

        功耗

        0.5KW

        豫公網安備 41019702002438號

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